真空设备的选择要根据所要热处理的零件化学成分和加热温度实现，必须满足金属氧化物与一氧.化碳平衡分解压的关系，并且要考虑一定的余地，不要过分追求高真空，真空度过高不仅会造成合金元素的挥发，而且会造成设备的配置提高、投.资费用增加。
真空热处理炉的维修是真空炉管理的重要内容之一。其目的是恢复真空炉的使用性能。一旦发生真空热处理炉完全或部分丧失使用性能，真空炉的管理人员就要根据故障现象判断大致故障原因，再决定修理规模，然后组织修理。而要能够很准确判断故障原因，就要求了解设备构造、工作原理、功能，维护保养要求及平时实施保养状况。再结合现场实际观察状况确定。因此真空热处理炉的管理者或维修者千万不要将自己当成企业流程当中的一个零件，只负责传递这个信息，只负责拧下这个螺丝，只负责做一下统计和报表。真正的真空热处理炉管理者第1步要建立自己的资料库，第二步要建立故障维修记录，第三步是故障统计分析和改进，第四步才是提前预防。
真空热处理设备是实现材料热处理的重要设备。炉内气压低于正常气压。炉内气氛相当于一种气体，可使热处理工作不氧化。热处理设备的用途很广，主要用于结构钢、不锈钢、耐热合金、精密合金以及材料的真空回火，时效、退火、淬火，也可以用于真空除气，钎焊和烧结等方面。真空热处理炉使用安全可靠，可实现自动化操作，没有污染公害等间题。
对于刚从事真空热处理炉维修的人员来说，要迅速建立起对真空气淬炉、真空油淬炉、真空热处理炉的整体认识，掌握该设备的组成及各组成部分之间的关系是最重要的，所有故障解决起来好像与以前经历的故障有不同，但解决之后，都可以归到设备的几个系统或几个类别进行分类总结。
真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同。一般以板式和棒式为主，材料为高质量石墨。近年来cfc(碳碳)复合材料的出现表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。同样功率的情况下cfc材料厚度薄、相对蓄热小、有利于提高冷却速度。.

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